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连续面形石英微光学元件机械‑刻蚀复合加工方法
张为国; 朱国栋; 张东; 熊欣; 刘风雷; 史浩飞; 杜春雷
2018-01-05
摘要

本发明提供一种连续面形石英微光学元件机械‑刻蚀复合加工方法，主要采用高分子材料涂覆及固化、金刚石超精密切削掩模、等离子体刻蚀工艺流程。该方法可实现石英材质微透镜列阵、微柱透镜、菲涅尔透镜等微光学元件的高精度制作，为紫外波段高质量微光学元件的精确制作提供一种有效的解决方案，推动小型化、集成化、紧凑型光电设备的发展。

专利类型发明专利
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