KMS Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, CAS
基于超薄金属薄膜的超宽频太赫兹分束器 | |
刘松林; 薄报学; 邹仪宣; 夏良平 | |
2017-07-06 | |
摘要 | 提出了一种以聚酯薄膜作为支撑的超薄金属薄膜太赫兹分束器结构,建立了该结构的基于传输矩阵理论的分束模型,分析了不同厚度金属Cr膜和聚酯薄膜对超宽频段太赫兹分束器的反射率、透射率和分束比的影响.理论结果表明,太赫兹分束器的分束性能受金属Cr膜厚度的影响较大,而受聚酯薄膜厚度的影响较小.在此基础上,制备了不同厚度金属Cr膜的太赫兹分束器件,并进行了分束实验,获得了与理论分析一致的实验结果,确定了1∶1分束比下的器件结构参数. |
关键词 | 薄膜 太赫兹 分束器 Cr |
发表期刊 | 光学学报 |
ISSN | 0253-2239 |
期号 | 11页码:401-405 |
收录类别 | CSCD |
CSCD记录号 | CSCD:6122589 |
语种 | 中文 |