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	飞秒激光光镊直写银微纳结构
	陈忠贇; 方淦; 曹良成; 付芸; 曹洪忠; 姜肇国; 段宣明
	2017-12-08
摘要	金属微纳结构在微纳电子学、MEMS、表面等离激元光子学、超颖材料等方面具有重要应用。因此,对于其加工与制备技术的研究一直受到重视。本文利用800 nm飞秒激光光镊捕获水中分散的银纳米颗粒,在玻璃基片上表面直写银线,通过调控激光参数研究了激光功率与线宽及表面形貌的关系,并且实现了线宽为378 nm的银线直写。经过测试,直写的银线电阻率为固体银的19.88倍。此外,还利用该方法制备银二维网格结构,体现了该技术在二维结构直写方面的良好加工能力。
关键词	激光直写 光镊 飞秒激光 银微纳结构
发表期刊	中国激光
页码	1-9
语种	中文