KMS Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, CAS
一种制备氧化锌微米管的方法 | |
王亮; 陆文强; 冯双龙; 李昕; 李振湖; 石彪 | |
2020-03-31 | |
摘要 | 本发明提供一种制备氧化锌微米管的方法,应用于微米管制备领域,所述方法包括:提供一表面旋涂有光刻胶的氮化镓衬底和硝酸锌与六次甲基四按相同配置比例混合得到的混合溶液;对所述氮化镓衬底旋涂有光刻胶的一面进行光刻处理,在所述氮化镓衬底上制备得到孔阵列;将制备有所述孔阵列的所述氮化镓衬底置于所述混合溶液中进行反应,且于所述孔阵列的各孔边沿处制备得到纵向生长的氧化锌微米管。本发明相对现有的微米管制备方法,其制备过程简单,设备要求低,可控性好,可以实现快速、高效、大规模可控制备。 |
专利类型 | 发明专利 |
语种 | 中文 |